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saes吸气剂泵

无油、无震动、无电磁场;抽速和压强无关,和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa;抽速体积比高,抽速价格比高;激活后室温抽气无需电源。

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saes集团一直以来都是吸气剂技术发展的先锋。2011年起,三井真空成为saes 吸气剂泵产品在中国大陆的独家总代理。

吸气剂泵(NEG)是一种化学吸附泵。它能吸收各种活性气体,如氢、氧、氮、二氧化碳、一氧化碳等。吸气剂材料与活性气体发生化学反应, 生成极低蒸气压的固体化合物,从而永久性地抽除真空系统中的各种活性气体。氢气是通过溶解到吸气剂体内形成固溶体而被抽除的,但可以再生吸气剂组件,释放出氢气,恢复抽速和抽气容量。它特别适用于超高真空(UHV)系统。如果和SIP联合使用,能够增加低压强区域的抽速,系统可以达到10-10Pa的极限真空。吸气剂泵和TSP的性能和作用有相似之处。

● 无油、无震动、无电磁场;

● 对活性气体抽速高、抽气容量大,但不能抽除惰性气体和甲烷等气体;

● 抽速和压强无关,和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa;

● 抽速体积比高,抽速价格比高;

● 激活后室温抽气无需电源;

● 重量轻,更换NEG泵芯方便;

● 可以根据实际要求设计泵的结构形状和抽速大小。

● 需要获得超高和极高真空的系统都可以用NEG和离子泵、低温泵或TMP联合抽气达到指标;

● 利用NEG只能抽除活性气体,不能抽除惰性气体的特点,用于惰性气体的纯化;

● 它被广泛使用于以下领域:粒子加速器和同步辐射光源、核聚变装置(Tokamak)、空间技术、表面科学、材料科学、

分析、检测和计量设备、原子钟、便携式真空仪器等。

CapaciTorr吸气剂泵

CapaciTorr系列(适合超高、极高真空)

- D 50, D 100, D 200, D 400, D 1000, D 2000, D 3500

- 吸气材料为烧结型St172(Zr-V-Fe)

CapaciTorr HV系列(适合高真空)

- HV 200, HV 1600, HV 2100

- 吸气材料为烧结型ZAO(Ti-Zr-V-Al)

NEXTorr吸气剂复合泵

5升/秒离子泵系列

-D 100-5, D 200-5, D 300-5, D500-5

10升/秒离子泵系列

-D 1000-10, D 2000-10

吸气材料为烧结型St172(Zr-V-Fe)