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10-10Pa极高真空系统!!

来源:  作者:  发布日期:2015-01-13

日前,中科院高能所来三井真空成功验收了光阴极电子枪真空系统。

该系统由一台600L/s离子泵(三井真空提供)和一个吸气剂泵矩阵(48个赛斯CapaciTorr D400,总抽速19200L/s)共同抽气,现场调试极限真空达到7x10-10Pa(德国莱宝IE514真空规和CM52真空计),满足了客户要求的验收标准。

在此之前,三井真空加工的光阴极制备真空系统已成功交付高能所。该系统主要包括:导入室、制备室和储藏室。导入室仅使用离子泵抽气,极限真空为10-8Pa;制备室和储藏室(材料为钛)使用离子泵和吸气剂泵组合抽气,极限真空分别达到7x10-9Pa和3x10-10Pa。