对于超高或极高真空系统，（SIP+NEG）复合泵是一种理想的选择。
复合泵结合了离子泵和吸气剂泵的优点，互补了两者的缺点，具有了全新的特点。
| 离子泵 | 吸气剂泵 | （SIP+NEG）复合泵 |
| 压强<10-6Pa时抽速下降 | 抽速和压强无关 | 抽速曲线更平，压强范围更广，极限真空更高，可达10-10Pa |
| 体积大、重量大 | 体积小、抽速大、抽气容量大 | NEG组件嵌入SIP空腔，复合泵体积不变，重量几乎不变，抽速成倍增加，抽速体积比成倍增加 |
| 氢抽速小于抽其它活性气体，大量抽氢后阴极易脆裂 | 氢抽速高，抽气容量大，可以再生恢复抽速和抽气容量 | 综合了SIP和NEG的抽氢能力。SIP停止工作，就可再生NEG，恢复NEG泵的抽氢性能 |
| 三极泵能抽除惰性气体 | 不能抽除惰性气体 | 保留了离子泵抽除惰性气体的能力 |
| 无油、无震动、无噪音 | 无油、无震动、无噪音 | 无油、无震动、无噪音 |
| 断电不能继续工作 | 激活后常温抽气无需电源 | 断电时吸气剂泵继续抽气，复合泵抽速下降，系统内压强上升，但仍能维持相同量级压强 |
