上海三井真空设备有限公司

我国首台重离子治癌装置（HIMM）由中国科学院近代物理研究所研制。同步加速器是该医用重离子加速器的主加速部件。考虑到其空间紧凑的特点和真空系统的设计要求（<5x10^-7Pa），选用了将非蒸散型吸气剂泵芯（NEG 400L/s）嵌入三井真空溅射离子泵（SIP 400L/s）空腔内组成的复合泵（combination pump）作为真空系统的主泵。
    本论文由近代物理所和意大利赛斯公司合作撰写，发表于国际期刊《VACUUM》。文章测试了复合泵的抽气性能，测试并估算了复合泵的氢气饱和容量和再生周期，计算了同步加速器真空系统的压力分布。测试结果显示在体积和重量几乎不变的情况下，复合泵的抽速达到原有离子泵的2倍，很好地满足了同步加速器真空系统的设计要求。此外，文章也探讨了复合泵在高真空条件下（10^-5-10^-6Pa）使用的可行性。如果工作在一定温度范围内（比如200-300摄氏度），吸气剂泵是可以在该真空度下持续有效地抽除气体的。
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