上海三井真空设备有限公司

日前,中科院高能所来三井真空成功验收了光阴极电子枪真空系统。

该系统由一台600L/s离子泵（三井真空提供）和一个吸气剂泵矩阵（48个赛斯CapaciTorr D400，总抽速19200L/s）共同抽气，现场调试极限真空达到7x10^-10Pa(德国莱宝IE514真空规和CM52真空计)，满足了客户要求的验收标准。

在此之前，三井真空加工的光阴极制备真空系统已成功交付高能所。该系统主要包括：导入室、制备室和储藏室。导入室仅使用离子泵抽气，极限真空为10^-8Pa；制备室和储藏室（材料为钛）使用离子泵和吸气剂泵组合抽气，极限真空分别达到7x10^-9Pa和3x10^-10Pa。